制造工艺

TOPCon太阳能电池技术最好的一点是，制造工艺与PERT太阳能电池非常相似，制造商只需进行少量投资即可升级其现有生产线。大多数制造设备可以保持不变。这使得TOPCon太阳能电池成为市场上已有的PERC / PERT光伏组件制造商的绝佳投资。

1、制造TOPCon太阳能电池的第一步是通过使用氢氧化钾（KOH）去除c-Si晶片切割过程中的锯损伤来化学纹理化晶圆表面。

2、清洁晶圆后，使用扩散法通过施加三溴化硼（BBr）在电池正面形成，但随后通过施加硝酸和氢氟酸（HF/HNO）去除背面，并通过湿化学浸渍产生超薄氧化层。

3、为了生长nPoly-Si层，通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺生长磷掺杂的非晶硅（n-a-Si：H）层。然后在900ºC退火后将其转化为nPoly-Si层。+ +

4、进一步清洁太阳能电池，并通过PECVD施加钝化和涂层。

5、最后，通过丝网印刷将银/铝触点涂覆为金属化，使用最高温度为760ºC的快速烧制方法进行金属化。

制造TOPCon太阳能电池后，进行I-V太阳能电池曲线表征以评估其性能。

工艺流程图
原标题：TopCon电池的工艺流程