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硅片金刚线切割的16项核心技术
日期:2022-05-17   [复制链接]
责任编辑:sy_zhuzelin 打印收藏评论(0)[订阅到邮箱]
金刚线切割技术仍将作为未来相当长一段时间内主流的硅片切割技术。如何不断改进金刚线切割设备和金刚线的技术性能,优化切割生产工艺,满足光伏硅片生产高效率、高质量、低成本要求,将是未来硅片竞争力的核心技术。

综合来看,“细线化、高速度、自动化和智能化”是光伏硅片切割生产的主要发展趋势。本文综述了光伏硅片切割工艺中的16项致胜核心技术,帮助行业理解金刚线切割硅片的发展方向,以及行业目前面临的痛点、难点。


① 高精度切割线管理技术

以金刚线切片机为例,切片机工作过程中,金钢线高速从放线辊放出,经过排线轮、张力轮、过线轮和切割轴后,收回缠绕到收线辊上;再反方向由收线辊绕回到放线辊,金刚线高速往复双向运动。

原则上切片机工作过程中,收线、放线及排布线须同步且金刚线所受到的张力应保持稳定,然而收、放线辊上绕制的金刚线卷径是随时变化的,必须实时控制收、放线辊的转速以保证高速运动的金刚线的线速度稳定且保持金刚线所受到的张力稳定;同时还需要保证排线装置与收放线辊同步。

因此,各轴同步既是关键技术也是难点技术。此外,硅片切割的技术发展趋势之一是“大尺寸、大装载量”,这也就相应需要更长的金刚线网,但金刚线网加长,将增加金刚线工作时的扭转圈数,且同时容易出现金刚线抖动加大的情形,进而增加金刚线断线风险,不利于细线化切割。

② 高精度张力控制技术


以金刚线切片机为例,切片机切割硅棒过程中,金刚线须保持稳定的切割张力,若张力过小,将导致金刚线切割力不足;若张力过大,将导致金刚线断线;若张力控制不稳定,或将导致切出的硅片存在 TTV 超标、线痕明显、硅片弯曲和翘曲等质量问题,严重时金刚线断线或将导致整根硅棒损坏。因此,精确、灵敏、稳定、无扰动的切割线张力控制技术是金刚线切割技术的关键技术之一。

③ 高精度夹持进给技术


切割设备工作时需要夹持被加工材料与切割刀具持续、稳定、紧密接触,被加工材料进给的稳定性直接影响到切割的质量和效率;因此,夹持进给系统须具有高定位精度、高动态响应、高稳定性等特点。

④ 多主轴动态平衡控制技术


单晶硅圆棒开方时,金刚线切割线网是由一根金刚线布成的井字形线网,需要运用多主轴动态平衡控制技术来进行布线控制,以保证开方机线网的稳定运行。公司经过多年的自主研发、实践及持续优化,率先将自主研发的多主轴动态平衡控制技术应用于金刚线单晶开方机,使得金刚线单晶开方机主轴轮使用寿命延长、断线率降低、切割成本降低。

⑤ 高精度晶线检测技术


晶线检测是单晶硅棒开方的重要工序,晶线检测的成功与否,会直接影响切割质量和切割效率。如果晶线检测错误且继续切割动作,会造成硅棒直接报废;如果检测用时过多,会降低切割效率。高精度晶线检测技术,利用高精度传感器、多层控制算法、闭环自动调整技术,可以保证硅棒误切率趋近于零,晶线检测成功率达 99.9%,大幅度缩短了晶线检测时间。

⑥ 超薄片切割工艺技术

该技术是通过优化切割工艺匹配、优化切割设备部套性能,实现高硬脆材料的薄片切割,从而降低成品片所需材料用量、提升成品片柔韧性的切割工艺技术。

以光伏用单晶硅片为例,超薄片技术路线是面向光伏平价上网的主要解决方案之一,针对下一代电池技术具有明显的性价比优势,片厚的下降带来硅片柔性的提高,组件的应用场景也相应提升,高转换效率和低成本的材料有利于客户产品提升竞争力。

⑦ 基于大数据算法的切割过程工艺自适应技术


该技术通过算法、数据、切割工艺调整逻辑,使得切割类设备在一定程度上具备模拟切割工艺人员对切割过程出现的复杂问题的识别、学习和解决能力,使得切割装备智能地针对切割过程中遇到的金刚线、辅料、装备等出现的异常情况给出快速、精确、可重复的处理措施,从而降低断线率、提升生产效率、提高切片良率。

⑧ 超细金刚线高线速切割工艺技术

该技术是通过优化金刚线切割相关工艺参数,力求使用线径更细的金刚线切割,从而降低制造硅片所需的材料用量、提升切片良率、提高切割生产效率、降低固定资产投资成本的切割工艺技术。

⑨ 高精度轴承箱设计制造技术

以金刚线切片机为例,切片机两根切割主辊带动金刚线网在硅棒表面高速往复磨削,将硅棒切削加工为硅片。两根切割主辊由轴承支撑起来高速旋转,轴承则安装在两根主辊前后四个轴承箱中。切割主辊转动产生的轴向和径向力将导致切片机在微米级切割状态下出现切割精度波动,并进而影响生产效率及硅片质量。

轴承箱在上述切割主轴工作过程中起到支撑和保持精度的关键作用,一方面,切割主辊将高速旋转工作时承受的轴向和径向力传递到轴承箱上,由轴承箱的力学结构承载并化解;另一方面,轴承箱精度和刚度保证了金刚线网的运行精度,从而保证了硅片切割质量。

⑩ 高稳定性液路技术


在金刚线切片机工作过程中,金刚线切割硅片时会持续产生大量的热量,若大量热聚集则会使高精度轴承箱和硅棒发生热变形,进而降低切片机的工作精度、降低硅片的质量。因此,轴承箱和硅棒所在的切割区域需进行循环冷却,以带走切割硅棒产生的热量,并保证切割区域温度恒定。

⑪ 低张力高效上砂技术

“低张力高效上砂技术”主要是指“分段张力系统”和“单机十二线设计技术(原单机六线设计技术)”。“分段张力系统”是指在金刚线生产线主要工艺段设置驱动电机和张力电机,中间工艺段电机为主轴电机,其他电机为从轴跟随主轴同步,金刚线生产线各工艺段的钢线张力控制是独立的,从而可以实现低张力上砂,减少钢线因大张力磨损而导致的脱砂情况,有利于高质量上砂。

通过全新的产线结构设计,将每条金刚线生产线由同时生产 6 根金刚线提升至同时生产 12 根金刚线,且各金刚线单独进行张力、电流、砂量等生产参数控制。通过升级改造,各条产线中同时生产的 12 根金刚线既可共用电镀液及各种金刚线原材料,又可独立控制各根金刚线的生产,可以极大地提升金刚线的生产效率、降低金刚线生产线的固定资产投资成本。

⑫ 机器视觉图像识别技术

“机器视觉图像识别技术”是指通过算法、数据、传感器、精密驱控技术使得机器在一定程度上具备模拟人类强大、复杂的视觉感官的能力,结合计算机的快速性、精确性和可重复性,使机器具备在线、快速、精确的工业检测任务。

“机器视觉图像识别系统”通过高速工业像机在线实时拍摄固结在钢线基体上单位视野内的金刚石微粉颗粒的显微图像,图像信号实时传送给图像处理系统并转换为数字化信号,数字化的图像信号被金刚线生产线检测控制系统实时接收,并实时计算钢线基体上单位视野内的金刚石微粉颗粒数量、分布均匀性的分析数据,从而实现对金刚线上固结的金刚石微粉颗粒数量、分布均匀性的实时在线检测,并将实时在线检测数据与生产工艺设定数据比较,实时调整金刚线生产线的生产工艺参数,进而实现对金刚线上固结的金刚石微粉颗粒数量、分布均匀性的实时控制。

⑬ 砂量模糊控制技术

“上砂量”(固结在金刚线母线上的单位视野内的金刚石微粉颗粒数量)直接决定金刚线的切割力,是评价金刚线质量的最关键技术指标之一。影响上砂量的主要因素有电镀电流、电镀液pH 值、电镀液温度、电镀液中金刚石微粉颗粒浓度、母线运行速度等,影响变量非常之多,且难以精确量化控制参数。

“砂量模糊控制系统”以金刚线生产大数据为基础,建立各影响因素与砂量的模糊控制规则,采用模糊推理、模糊判断、数学仿真分析等技术解析控制量,从而实现对上砂量的精确控制,无需人工干预上砂量。

⑭ 电镀液高效添加剂技术

上砂过程是金刚线生产的核心工艺流程,上砂的效率(速度)直接影响金刚线的生产速度;上砂过程中金刚石微粉颗粒在母线上分布的均匀性直接影响金刚线的质量一致性。因此为了保证高速上砂和均匀上砂(不团聚、不叠砂),上砂槽中添加剂和使用方法非常重要。

⑮ 金刚石微粉镀覆技术

金刚石微粉颗粒本身不导电,为使得金刚石微粉颗粒能够在电镀的机理下固结在母线上,一般是采用化学镀的方法在金刚石颗粒表面包覆金属镍进行表面金属化处理。但金刚线生产过程中的电镀液环境是酸性的,会腐蚀金刚石颗粒表面的金属镍层,使得金刚石颗粒表面的金属镍层脱落或金刚石颗粒与母线基体结合力减弱,进而降低金刚线的质量以及改变电镀液的成分。

因此,金刚石颗粒镀层必须保证在上砂槽电镀液中的稳定性。在微粉镀覆时,需要验证不同添加剂的种类、用量,以及对金属包覆层的外形貌和力学性能的影响;还要优化金刚石微粉的表面金属化镀覆工艺和镀覆装备,提高金刚石与母线的结合力。

⑯ 金刚石微粉后处理技术

金刚线生产过程中,在金刚石微粉颗粒固结到钢线基体表面后,镀液中的镍离子将在电镀作用下持续移向钢线基体获得电子还原为金属镍,并同时将金刚石微粉颗粒固结在钢线基体表面,因此金刚线外表层的金属镍镀层是决定了金刚石颗粒在钢线基体上的固结能力,进而决定了金刚线的切割能力,金刚石颗粒在钢线基体上的固结能力是金刚线最重要的技术指标之一。 

原标题:硅片金刚线切割的16项核心技术
 
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来源:全球光伏
 
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